| Nome do produto: | Sistema de medida do interferômetro do laser SJ6000 | Escala de medição linear: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Resolução: | 1nm | Precisão da frequência do laser: | 0.05ppm |
| Temperatura operacional:: | ℃ (de 0-40) | Taxa dinâmica da captação:: | 50 KHz |
| Destacar: | Único interferômetro do laser da frequência,dispositivos de medição 0.05ppm,dispositivos de medição da definição 1nm |
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O interferômetro a laser é reconhecido como um método de medição de alta precisão e alta sensibilidade que usa o comprimento de onda da luz como critério, amplamente utilizado em domínios de fabricação de ponta.O sistema de interferômetro a laser SJ6000 incorpora um gerador a laser de hélio-neão de alta frequência de um fornecedor dos EUA, módulos de compensação ambiental de alta precisão, processamento avançado de sinal de interferência a laser e um sistema de controlo por computador de alto desempenho.
Utilizando a tecnologia de estabilização de frequência térmica do modo laser dual-longitudinal e os parâmetros geométricos de interferência no design do caminho óptico, o SJ6000 oferece estabilidade a longo prazo, alta precisão (0.05 ppm) de saída de laser rapidamente (aproximadamente 6 minutos) com um desempenho anti-interferência poderoso.Perpendicularidade, e analisar as características dinâmicas.
| Parâmetro | Especificações |
|---|---|
| Método de medição | Frequência única |
| Precisão da frequência do laser | 00,05 ppm |
| Taxa de captura dinâmica | 50 kHz |
| Tempo de aquecimento | Aproximadamente 6 minutos. |
| Temperatura de funcionamento | (0-40) °C |
| Condições ambientais | Temperatura: (0-40)°C, Umidade: 0-95% |
| Temperatura de armazenamento | -20°C a 70°C |
| Tipo de sensor | Especificações |
|---|---|
| Sensor de temperatura atmosférica | ±0,1°C (0-40)°C, resolução: 0,01°C |
| Sensor de temperatura do material | ±0,1°C (0-40)°C, resolução: 0,01°C |
| Sensor de umidade atmosférica | ± 5% (0-95%) |
| Sensor de pressão atmosférica | ± 0,1 kPa (65-115) kPa |
| Parâmetro | Especificações |
|---|---|
| Faixa de medição | (0-80) m |
| Precisão de medição | 00,5 ppm (0-40) °C |
| Resolução de medição | 1 nm |
| Velocidade máxima de medição | 4 m/s |
| Parâmetro | Especificações |
|---|---|
| Intervalo axial | (0-15) m |
| Faixa de medição | ± 10° |
| Precisão | ±(0,02%R+0,1+0,24M) ′′ (R indica o valor, unidade: ′′; M é o comprimento medido em m) |
| Resolução de medição | 0.1′′ |
| Parâmetro | Especificações |
|---|---|
| Intervalo axial | (0-15) m |
| Faixa de medição da planície | ± 1,5 mm |
| Precisão | ±(0,2%R+0,02M2) μm (R indica o valor em μm; M é o comprimento medido em m) |
| Tamanho do substrato | 180 mm ajustável, 360 mm ajustável |
| Resolução de medição | 0.1 μm |
| Tipo | Distância do eixo | Faixa de medição | Precisão | Resolução |
|---|---|---|---|---|
| Direcção curta | (0,1-4) m | ± 3,0 mm | ± ((0,5+0,25%R+0,15M2) μm | 00,01 μm |
| Direcção longa | (1-20) m | ± 3,0 mm | ± ((5,0+2,5%R+0,015M2) μm | 00,01 μm |
| Tipo | Distância do eixo | Faixa de medição | Precisão | Resolução |
|---|---|---|---|---|
| Direcção curta | (0,1-3) m | ± 3,0 mm | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | 00,01 μm |
| Direcção longa | (1-15) m | ± 3,0 mm | ± 2,5+2,5%R+0,08M) μm/m | 00,01 μm |