| Nome do produto: | Sistema de medida do interferômetro do laser SJ6000 | Escala de medição linear: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Resolução: | 1nm | Precisão da frequência do laser: | 0.05ppm |
| Temperatura operacional:: | ℃ (de 0-40) | Taxa dinâmica da captação:: | 50 KHz |
| Destacar: | sistema de medida do interferômetro do laser 0.05ppm,sistema de medida do interferômetro do laser 1nm,interferômetro de medição do deslocamento 1nm |
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A interferometria a laser é reconhecida como um método de medição de alta precisão e alta sensibilidade que utiliza o comprimento de onda da luz como critério, amplamente utilizado na fabricação de ponta. O sistema de interferômetro a laser SJ6000 incorpora um gerador de laser de hélio-neônio de alta frequência de um fornecedor dos EUA, módulos de compensação ambiental de alta precisão, processamento avançado de sinal de interferência a laser e um sistema de controle de computador de alto desempenho.
Utilizando tecnologia de estabilização de frequência térmica com modo duplo longitudinal de laser e design de caminho óptico de interferência de parâmetros geométricos, o SJ6000 oferece saída de laser estável e de alta precisão (0,05ppm) a longo prazo em aproximadamente 6 minutos, com poderoso desempenho anti-interferência. Com vários módulos de prisma, ele mede linearidade, ângulo, retilinidade, planicidade, perpendicularidade e analisa características dinâmicas.
| Parâmetros do Sistema | Sensores Ambientais |
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Método de medição: Frequência única Precisão da frequência do laser: 0,05ppm Taxa de captura dinâmica: 50kHz Tempo de aquecimento: ~6 minutos Temperatura de operação: 0-40°C Ambiente: 0-40°C, 0-95% de umidade Temperatura de armazenamento: -20°C a 70°C |
Temperatura atmosférica: ±0,1°C (0-40°C), resolução de 0,01°C Temperatura do material: ±0,1°C (0-40°C), resolução de 0,01°C Umidade atmosférica: ±5% (0-95%) Pressão atmosférica: ±0,1kPa (65-115kPa) |
| Medição Linear | Medição de Ângulo |
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Faixa de medição: 0-80m Precisão de medição: 0,5ppm (0-40°C) Resolução: 1nm Velocidade máxima: 4m/s |
Faixa axial: 0-15m Faixa de medição: ±10° Precisão: ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ Resolução: 0,1″ R = valor indicativo (″), M = comprimento medido (m)
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| Medição de Planicidade | |
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| Faixa axial: 0-15m | Faixa de medição: ±1,5mm |
| Precisão: ±(0,2%R+0,02M²) µm | Resolução: 0,1µm |
| Tamanho do substrato: 180mm ajustável, 360mm ajustável | |
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R = valor indicativo (µm), M = comprimento medido (m)
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| Medição de Retilinidade | Retilinidade Curta | Retilinidade Longa |
|---|---|---|
| Faixa do eixo | 0,1-4m | 1-20m |
| Faixa de medição | ±3,0mm | ±3,0mm |
| Precisão | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)µm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)µm |
| Resolução | 0,01µm | 0,01µm |
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R = valor indicativo (µm), M = comprimento medido (m)
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| Medição de Perpendicularidade | Retilinidade Curta | Retilinidade Longa |
|---|---|---|
| Faixa do eixo | 0,1-3m | 1-15m |
| Faixa de medição | ±3,0mm | ±3,0mm |
| Precisão | ±(2,5+0,25%R+0,8M)µm/m | ±(2,5+2,5%R+0,08M)µm/m |
| Resolução | 0,01µm | 0,01µm |
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R = valor indicativo (µm), M = comprimento medido (m)
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